檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "黃鶯聲".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="奈米結構"
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本文藉由改變離子束轟擊角度以及改變離子束能量,使Si (100) 基板表面產生波紋形貌。使用的離子種類為氬離子,能量為6 ~ 10 keV,電流密度為2 A/cm2,總離子量為 ~3.61016…